Potassium Permanganate as Oxidizer in Alkaline Slurry for Chemical Mechanical Planarization of Nitrogen-doped Polycrystalline Ge[sub 2]Sb[sub 2]Te[sub 5] Film

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2010, Vol.157 (11), p.H1036
Hauptverfasser:	Cui, Hao, Cho, Jong-Young, Hwang, Hee-Sub, Lim, Jae-Hyung, Park, Jin-Hyung, Park, Hyung Soon, Hong, Kwon, Park, Jea-Gun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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