Integration of Vertical Carbon Nanotube Bundles for Interconnects

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2010, Vol.157 (10), p.K211
Hauptverfasser:	Chiodarelli, Nicoló, Kellens, Kristof, Cott, Daire J., Peys, Nick, Arstila, Kai, Heyns, Marc, De Gendt, Stefan, Groeseneken, Guido, Vereecken, Philippe M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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