InGaZnO[sub 4]-Based Thin Film Transistors Using Room-Temperature Grown Mg[sub 2]Hf[sub 5]O[sub 12] Gate Insulator

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 2010, Vol.157 (10), p.H964
Hauptverfasser: Kim, Dong Hun, Seo, Hyungtak, Chung, Kwun-Bum, Cho, Nam Gyu, Kim, Ho-Gi, Kim, Il-Doo
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
DOI:10.1149/1.3465656