Two-Step Chemical Mechanical Polishing of Sapphire Substrate

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2010, Vol.157 (6), p.H688
Hauptverfasser:	Zhang, Zefang, Liu, Weili, Song, Zhitang, Hu, Xiaokai
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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