Effects of Photoelectrochemical Etching of N-Polar and Ga-Polar Gallium Nitride on Sapphire Substrates

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 2010, Vol.157 (6), p.H676
Hauptverfasser: Jung, Younghun, Baik, Kwang Hyeon, Ren, Fan, Pearton, Stephen J., Kim, Jihyun
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
DOI:10.1149/1.3384713