Effects of Photoelectrochemical Etching of N-Polar and Ga-Polar Gallium Nitride on Sapphire Substrates
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Veröffentlicht in: | Journal of the Electrochemical Society 2010, Vol.157 (6), p.H676 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0013-4651 |
DOI: | 10.1149/1.3384713 |