Impact of Germanium Surface Conditioning and ALD-growth Temperature on Al[sub 2]O[sub 3]/ZrO[sub 2] High-k Dielectric Stacks

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2009, Vol.156 (10), p.G168
Hauptverfasser:	Bethge, Ole, Abermann, Stephan, Henkel, Christoph, Straif, Christoph J., Hutter, Herbert, Bertagnolli, Emmerich
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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