Superlateral Growth of Silicon by Artificially Designed Spatial Intensity Laser Beam Profile

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2009, Vol.156 (7), p.J192
Hauptverfasser:	Kim, Eok Su, Kim, Ki-Bum
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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