Kinetics of Deposition of Cu Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Solutions from a F-Free Copper(II) β-Diketone Complex

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2009, Vol.156 (6), p.H443
Hauptverfasser:	Matsubara, Masahiro, Hirose, Michiru, Tamai, Kakeru, Shimogaki, Yukihiro, Kondoh, Eiichi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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