Real-Time Evaluation of Aluminum Borohydride Trimethylamine for Aluminum Chemical Vapor Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2009, Vol.156 (5), p.H333
Hauptverfasser:	Kang, Sang-Woo, Park, Young-Jae, Kim, Yong-Sung, Shin, Yong-Hyeon, Yun, Ju-Young
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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