Organic Oxidants for Chemical Mechanical Planarization

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Electrochemical and solid-state letters 2009-01, Vol.12 (1), p.H21
Hauptverfasser:	de Rege, Francis, Yang, Pengxiang, Grumbine, Steven, Aggio, Jason, Martin, Roger, Brusic, Vlasta
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!