Detection of Interfacial Gas Bubbles in Wafer Bonded Silicon with Different Surface Treatments

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2009, Vol.156 (1), p.H27
Hauptverfasser:	Horn, Gavin, Gabriel, Markus, Lesniak, Jon, Mackin, Thomas J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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