Mechanical Enhancement of Low-k Organosilicates by Laser Spike Annealing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2008, Vol.155 (10), p.G224
Hauptverfasser:	Volksen, Willi, Dubois, Geraud, Kellock, Andrew, Magbitang, Teddie P., Miller, Robert D., Miller, Dolores, Cohen, Stephan, Simonyi, Eva E., Ramirez, Lynher, Markle, David, Chen, Shaoyin, Zhou, Senquan, Wang, XiaoRu, Wang, Yun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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