Mixed Orientation Si–Si Interfaces by Hydrophilic Bonding and High Temperature Oxide Dissolution

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2008, Vol.155 (2), p.H80
Hauptverfasser:	Saenger, K. L., de Souza, J. P., Fogel, K., Ott, J. A., Reznicek, A., Yin, H., Sung, C. Y., Sadana, D. K.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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