Detection and Quantification of Surface Nanotopography-Induced Residual Stress Fields in Wafer-Bonded Silicon

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2008, Vol.155 (1), p.H36
Hauptverfasser:	Horn, Gavin, Chu, Yong S., Zhong, Yuncheng, Mackin, Thomas J., Lesniak, Jon R., Reiniger, Daniel
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!