Characteristics of Cobalt Thin Films Deposited by Remote Plasma ALD Method with Dicobalt Octacarbonyl

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2007, Vol.154 (3), p.H177
Hauptverfasser:	Kim, Keunjun, Lee, Keunwoo, Han, Sejin, Jeong, Wooho, Jeon, Hyeongtag
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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