Mass and Heat Transfer during the Chemical Vapor Deposition of Metals

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1961, Vol.108 (5), p.460
Hauptverfasser:	Oxley, J. H., Blocher, J. M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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