Brittle and Ductile Fracture Mechanics Analysis of Surface Damage Caused During CMP

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2007, Vol.154 (3), p.H239
Hauptverfasser:	Ring, Terry A., Feeney, Paul, Boldridge, David, Kasthurirangan, Jaishankar, Li, Shoutian, Dirksen, James A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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