Electroless Diffusion Barrier Process Using SAM on Low-k Dielectrics

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2007, Vol.154 (3), p.D122
Hauptverfasser:	Yoshino, M., Masuda, T., Yokoshima, T., Sasano, J., Shacham-Diamand, Y., Matsuda, I., Osaka, T., Hagiwara, Y., Sato, I.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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