Epitaxial Growth of Silicon by Vacuum Sublimation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1964, Vol.111 (2), p.201
Hauptverfasser:	Handelman, E. Tannenbaum, Povilonis, E. I.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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