Impurity Distribution in Epitaxial Silicon Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1962, Vol.109 (11), p.1055
Hauptverfasser:	Thomas, C. O., Kahng, D., Manz, R. C.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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