Selected Area Deposition of Single Crystal Silicon on Amorphous Quartz

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1966, Vol.113 (10), p.1091
Hauptverfasser:	Filby, J. D., Nielsen, S.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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