Epoxide-Containing Polymers as Highly Sensitive Electron-Beam Resists

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1971, Vol.118 (4), p.669
Hauptverfasser:	Hirai, Takako, Hatano, Yoshio, Nonogaki, Saburo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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