Structure of Silicon Films Deposited on Oxidized Silicon Wafers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1970, Vol.117 (12), p.1569
Hauptverfasser:	Fripp, A. L., Stermer, R. L., Catlin, A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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