Low-Temperature Electrostatic Silicon-to-Silicon Seals Using Sputtered Borosilicate Glass

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1972, Vol.119 (4), p.545
Hauptverfasser:	Brooks, A. D., Donovan, R. P., Hardesty, C. A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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