Interdependence of Parameters in Reactive Sputtering of Manganese in Oxygen

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1972, Vol.119 (2), p.183
Hauptverfasser:	Locker, L D., Landorf, R. W., Naegele, C. L., Vratny, F.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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