Nondestructive Location of Oxide Breakdowns on MOSFET Structures

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1973, Vol.120 (6), p.834
Hauptverfasser:	Garbarino, P. L., Sandison, R. D.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!