Dependence of film properties of subatmospheric pressure chemical vapor deposited oxide on ozone-to-tetraethylorthosilicate ratio

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1993-06, Vol.140 (6), p.1682-1686
Hauptverfasser:	HUANG, J, KWOK, K, WITTY, D, DONOHOE, K
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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