Maskless texture etching of GaAs

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1993-12, Vol.140 (12), p.L183-L184
Hauptverfasser:	LANDIS, G. A, FATEMI, N. S, YOUNG, M. J, BAILEY, S. G
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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