Detection of phosphorus pileup at SiO2/Si interface

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1993-12, Vol.140 (12), p.L176-L177
Hauptverfasser:	SATO, Y, IMAI, K, YOMEZAWA, H, SHIGEMATSU, T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Composition defects and impurities Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
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