The influence of lithographic patterning on current distribution in electrodeposition : experimental study and mass-transfer effects

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1993-12, Vol.140 (12), p.3497-3505
Hauptverfasser:	MEHDIZADEH, S, DUKOVIC, J, ANDRICACOS, P. C, ROMANKIW, L. T, CHEH, H. Y
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemistry Electrochemistry Electrodeposition Exact sciences and technology General and physical chemistry Study of interfaces
Online-Zugang:	Volltext
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