Fabrication of tungsten local interconnect for VLSI bipolar technology

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1993-10, Vol.140 (10), p.3007-3013
Hauptverfasser:	KOBEDA, E, MAZZEO, N. J, GAMBINO, J. P, NG, H, PATTON, G. L, WARNOCK, J. D, BASAVAIAH, S, WHITE, J. F, CRESSLER, J. D
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Design. Technologies. Operation analysis. Testing Electronics Exact sciences and technology Integrated circuits Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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