Dopant-type selective electroless photoetching of Zn-diffused InP and InGaAs/InP heterostructures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1993-07, Vol.140 (7), p.2125-2128
Hauptverfasser:	WILLIAMSON, J. B, CAREY, K. W
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Low-dimensional structures (superlattices, quantum well structures, multilayers): structure, and nonelectronic properties Physics Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
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