ALD: Emerging Materials, Processes, and Nanoscale Technology Applications

Nanoscale (zero-thickness) thin film growth processes such as atomic layer deposition are under extensive development for potential use in key nanoelectronics applications. The unique characteristics of these processes make them potentially enabling for a number of emerging nanotechnology-driven tec...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ECS transactions 2006-07, Vol.1 (10), p.29-36
Hauptverfasser:	Eisenbraun, Eric, Carpenter, Michael, Siddique, Rezina, Naczas, Sebastian, Zeng, Wanxue, Luo, Fu, Kaloyeros, Alain
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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