Characteristics of Amorphous Bi[sub 2]Ti[sub 2]O[sub 7] Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition for Memory Capacitor Applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2006, Vol.153 (1), p.F20
Hauptverfasser:	Hwang, Gyu Weon, Kim, Wan Don, Min, Yo-Sep, Cho, Young Jin, Hwang, Cheol Seong
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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