Influence of Trichloroethylene on Room Temperature Flatband Voltages of MOS Capacitors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1976-02, Vol.123 (2), p.302-303
Hauptverfasser: Heald, D. L., Das, R. M., Khosla, R. P.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.2132808