Properties of Al2 O 3 Films Deposited from the AlCl3, CO 2, and H 2 System

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1978-06, Vol.125 (6), p.902-907
Hauptverfasser:	Silvestri, V. J., Osburn, C. M., Ormond, D. W.
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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