Spectroscopic Analysis of the Interface Between Si and Its Thermally Grown Oxide

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1980-06, Vol.127 (6), p.1359-1365
Hauptverfasser:	Aspnes, D. E., Theeten, J. B.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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