Copolymers of Methyl Methacrylate and Methacrylic Acid and Their Metal Salts as Radiation Sensitive Resists

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1979-01, Vol.126 (1), p.154-161
Hauptverfasser:	Haller, Ivan, Feder, Ralph, Hatzakis, Michael, Spiller, Eberhard
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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