Comparison of Nitrided HfO[sub 2] Films Deposited in O[sub 2] and N[sub 2]O by Direct Liquid Injection CVD

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2006, Vol.153 (1), p.F1
Hauptverfasser:	Luo, Qian, Dragomir-Cernatescu, Iuliana, Snyder, Robert L., Rees, Will S., Hess, Dennis W.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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