Use of an Electron Beam to Separate Semiconductor Devices with Beam Leads

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1981-01, Vol.128 (2), p.480-483
Hauptverfasser: Barycka, Irena, Boratyński, Bogusław, Ohly, Tomasz, Szreter, Mirosław, Teterycz, Helena, Ikanowicz, Olga
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.2127441