Pre‐ and Postepitaxial Gettering of Oxidation and Epitaxial Stacking Faults in Silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1981-02, Vol.128 (2), p.389-395
Hauptverfasser:	Chen, M. C., Silvestri, V. J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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