Spin‐On Glass as an Intermediate Layer in a Tri‐Layer Resist Process

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1982-09, Vol.129 (9), p.2152-2154
Hauptverfasser:	Ray, Gary W., Peng, Shiesen, Burriesci, Diane, O'Toole, Michael M., Liu, En‐Den
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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