Hydrogen and phosphorus ion beam exposure characteristics of PMMA

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1983-01, Vol.130 (5), p.1127-1131
Hauptverfasser: WADA, Y, MIGITAKA, M, MOCHIJI, K, OBAYASHI, H
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.2119901