Oxygen‐Doped Molybdenum Films for MOS Gate Application

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1984-02, Vol.131 (2), p.446-450
Hauptverfasser:	Ohfuji, Shin‐ichi, Hashimoto, Chisato, Amazawa, Takao, Murota, Junichi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!