Microphotoelectrochemical etching of n-GaAs using a scanned focused laser

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1985-01, Vol.132 (11), p.2811-2812
Hauptverfasser: RAUH, R. D, LELIEVRE, R. A
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.2113674