Silicon cantilever beams fabricated by electrochemically controlled etching for sensor applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1986-08, Vol.133 (8), p.1724-1729
Hauptverfasser:	SARRO, P. M, VAN HERWAARDEN, A. W
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Other techniques and industries Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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