Epitaxial lateral overgrowth of silicon over steps of thick SiO2

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1986-06, Vol.133 (6), p.1274-1275
Hauptverfasser:	ZINGG, R. P, NEUDECK, G. W, HEFFLINGER, B, LIU, S. T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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