High sensitivity, dry-etch-resistant negative EB resist

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1986-06, Vol.133 (6), p.1236-1239
Hauptverfasser:	SAEKI, H, SHIGETOMI, A, WATAKABE, Y, KATO, T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Physicochemistry of polymers Polymers and radiations Properties and characterization
Online-Zugang:	Volltext
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