An investigation of fixed charge buildup in nitrided oxides

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1986-04, Vol.133 (4), p.787-793
Hauptverfasser:	RUGGLES, G. A, MONKOWSKI, J. R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Other techniques and industries
Online-Zugang:	Volltext
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