Extrinsic gettering via epitaxial misfit dislocations: electrical characterization

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1986-03, Vol.133 (3), p.475-478
Hauptverfasser:	SALIH, A. S. M, RUY, J. S, ROZGONYI, G. A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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